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新型LUPHOScan 75 HD三維非接觸微小鏡片自動測量系統(tǒng)

日期:2026-02-01 02:22
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摘要: 泰勒·霍普森公司(TAYLOR HOBSON)在近期全新推出一款高速、精密的三維非接觸式微小鏡片自動測量系統(tǒng)LUPHOScan 75 HD,實現(xiàn)了非接觸3D形貌測量的全自動化,可在120秒內(nèi)完成調(diào)整、測量和分析。 LUPHOScan 75 HD具有更短的完整測量周期,為大批量生產(chǎn)帶來實驗室級的精度。只需單擊一下即可獲得始終如一的準確結(jié)果。任何級別的操作員都可以獲得快速、高精度的測量結(jié)果。 · 自動對準光學工件 · 使用FPP(Focal Point Pivot)技術(shù)實現(xiàn)更短的測量周期 · 高重復精...

圖一.png

      泰勒·霍普森公司(TAYLOR HOBSON)在近期全新推出一款高速、精密的三維非接觸式微小鏡片自動測量系統(tǒng)LUPHOScan 75 HD,實現(xiàn)了非接觸3D形貌測量的全自動化,可在120秒內(nèi)完成調(diào)整、測量和分析。

LUPHOScan 75 HD具有更短的完整測量周期,為大批量生產(chǎn)帶來實驗室級的精度。只需單擊一下即可獲得始終如一的準確結(jié)果。任何級別的操作員都可以獲得快速、高精度的測量結(jié)果。

 

·     自動對準光學工件

·     使用FPP(Focal Point Pivot)技術(shù)實現(xiàn)更短的測量周期

·     高重復精度:≤30 nm PV  

·     優(yōu)異的穩(wěn)定性: Power變化<±15 nm ,  PV變化<±1.5 nm  

·     幾何特征分析:如與光學表面相關(guān)的定位坎合面和邊緣直徑

圖二+封面.png


#測量原理

在測量過程中,傳感器在整個被測物體的表面進行螺旋式掃描,并生成高密度的三維數(shù)據(jù)。

工件在氣浮旋轉(zhuǎn)平臺上旋轉(zhuǎn),傳感器在移動軸上沿工件徑向理論曲線移動從而完成掃描。

旋轉(zhuǎn)平臺使傳感器與物體表面保持垂直,移動軸的布局提供了很高的靈活性,能從容應(yīng)對非常規(guī)的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點的輪廓)。

圖三.png

▲LUPHOScan掃描傳感器的運動


#自動調(diào)心調(diào)平

新型LUPHOScan 75 HD增加了全新的自動調(diào)心調(diào)平臺,讓儀器真正實現(xiàn)自動化。

·     消除對操作員技能的依賴

·     通過自動可重復的調(diào)心和調(diào)平實現(xiàn)測量一致性

·     以更短的設(shè)置時間提高產(chǎn)能

·     “一鍵”對準、測量和分析 

圖四.png


#快速而簡便的工件設(shè)置

只需單擊一下,自動調(diào)心和調(diào)平就可以:

·     評估工件的偏心和傾斜狀態(tài)

·     將工件傾斜調(diào)整至< 5′′ 

·     將工件中心降至1μm偏心度

圖五.png


#為未來做好準備

LUPHOScan 75 HD面向未來,可實現(xiàn)完全自動化集成:

·     腳本功能,便于人機對話

·     OP-UA兼容性

·     優(yōu)化流程,降本增效

圖六.png

                    

 

#使用FPP (Focal Point Pivot)技術(shù)縮短測量時間

測量周期時間*多可縮短65%,且無精度損失!

·     傳感器焦點與軸心點對齊

·     ΔZ和 ΔR小 傳感器旋轉(zhuǎn)大

·     ΔZ和 ΔR小 → 測量速度更快

圖七.png

▲大圓弧鏡設(shè)計有助于縮短測量周期時間

 

滬公網(wǎng)安備 31011502007567號

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